近日,據納設智能官微消息,納設智能成功研制出更大尺寸具有更多創新技術的8英寸碳化硅外延設備。據悉,該設備具備獨特反應腔室設計、可獨立控制的多區進氣方式、以及智能的控制系統,將更好的提高外延片的均勻性,降低外延缺陷及生產中的耗材成本。
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