據臺媒經濟日報報道，ASML曾于2022年宣布將投資300億元新臺幣，投資中國臺灣地區新北市的工廠，用于2納米晶圓光學量測設備研發制造等。這筆投資會分批進行，8月29日，中國臺灣經濟部門通過了ASML增資1.4億歐元（約合56.4億元新臺幣）的計劃，資金將用于晶圓測量設備等產品的代工生產，ASML同時會提供相關技術支持以及培訓服務。