據臺媒經濟日報報道(dao)，ASML曾于2022年宣(xuan)布將(jiang)投(tou)資(zi)(zi)300億(yi)元(yuan)新臺(tai)幣(bi)，投(tou)資(zi)(zi)中(zhong)國臺(tai)灣地區(qu)新北(bei)市的(de)(de)工廠，用(yong)于2納米晶圓光學量(liang)測設(she)備(bei)研發制造等。這筆投(tou)資(zi)(zi)會(hui)分批(pi)進行，8月29日，中(zhong)國臺(tai)灣經濟部(bu)門通過(guo)了(le)ASML增(zeng)資(zi)(zi)1.4億(yi)歐元(yuan)（約(yue)合56.4億(yi)元(yuan)新臺(tai)幣(bi)）的(de)(de)計劃，資(zi)(zi)金將(jiang)用(yong)于晶圓測量(liang)設(she)備(bei)等產品(pin)的(de)(de)代工生產，ASML同(tong)時會(hui)提供相關技(ji)術支(zhi)持以及培訓服(fu)務。